公司簡介:
Kleindiek Nanotechnik 公司是德國一家專注于微操縱研發和生產的企業,有過二十年的行業經歷,生產的顯微操縱系統在同領域處于領導。由主要產品Kleindiek顯微操縱儀(俗稱 Kleindiek機械手Kleindiek機械臂)衍生的多樣性系統和平臺產品與電鏡相結合,為材料與別器件的研究提供多的手段和便利。 Kleindiek Nanotechnik生產的顯微操縱儀MM3A-LS以其易操作、小體積成為膜片鉗工作者的得力助手。MM3A的移動范圍是三維空間的,X、Y軸可作±120°擺動,Z軸可作12mm的伸長,整個空間的移動范圍達到100立方厘米。Kleindiek顯微操縱儀系統驅動由壓電陶瓷來實現,由此Z軸每個步進的精度可達0.25nm,當采用移動模式時,速度可達到2mm/s,大行程設計,使得Z軸總行程可達到12mm,移動精度、厘米的移動范圍是MM3A的特點。
產品系列及特點:
功能到電子顯微鏡以允許在微米和尺度上的物理操縱和表征。 NanoWorkstation是一個系統,可執行此類任務,并可集成到大多數商用SEM和FIB中。
NanoWorkstation使得操控成為工業和研究實驗室且經濟實惠的解決方案,使您在關鍵尺寸現在處于范圍內的世界中保持競爭力。
Kleindiek顯微操縱儀基于模塊的系統具有很高的通用性,換連接在機器人前端的工具,無論是移動,組裝,準備,旋轉,推動,探測,感受,傾聽,Kleindiek顯微操縱儀可以執行許多不同的應用 ,抓地力或你可以想象的任務。
Prober Shuttle是我們在7節點上實現原位電探針的工具 - ! 為了實現我們對這款產品的愿景,我們開發了一款具有穩定性平面三軸機械手--MM4。 Prober Shuttle可以由多達8個MM4組成,可以選擇扁平的雙軸或三軸分段。
系統的整個為10 mm,使其與SEM負載鎖兼容,從而幫助您實現高的樣品通量。 Prober Shuttle還提供低電流,低容量測量功能,并且兼容探測工具硬件和軟件套件,包括Live Contact Tester和電子束感應電流成像模塊。
德國Kleindiek顯微操縱儀的驅動單元是由壓電陶瓷構成的馬達,因此它特點是能夠進行移動,在移動的同時其設計可以同時做到毫米的移動范圍,整個操縱裝置馬達驅動,從而系統體積小,可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內。 德國Kleindiek Nanotechnik生產的顯微操縱儀有以下型號以適用于不同的環境: MM3A-LMP Micromanipulator for Light Microscopy MM3A-EM Micromanipulator for Electron Microscopy MM3A-UHV Micromanipulator for UHV MM3A-LT Micromanipulator for low temperature 德國Kleindiek Nanotechnik生產的Kleindiek顯微操縱儀MM3A-EM以其易操作、小體積成為電子顯微鏡用戶的得力助手,改變了電子顯微鏡只用于樣品觀察的傳統,直接在樣品室內操縱樣品,由此衍生了許多豐富多彩的應用,使得對樣品的研究深一步。MM3A的移動范圍是三維空間的,X、Y軸可作±120°擺動,Z軸可作12mm的伸長,整個空間的移動范圍達到100立方厘米。系統驅動由壓電陶瓷來實現,由此Z軸每個步進的精度可達0.5nm,當采用移動模式時,速度可達到2mm/s,可以說是同時兼具了,大行程設計,使得Z軸總行程可達到12mm,移動精度、厘米的移動范圍是MM3A的特點。 MM3A-LS以其高穩定性、無漂移的鮮明特性,被應用于生命科學領域的高敏度膜電位測量領域。衍生產品MM3A-LMP與光學顯微鏡的結合,被應用于半導體的探針系統中,可適應45nm、65nm、90nm工藝的要求。 顯微操縱儀的細微的漂移都會影響到細 胞膜電位的測量,這就要求顯微操縱儀盡量能做到漂移,德國Kleindiek Nanotechnik公司生產的MM3A地解決了漂移的問題,既使是長時間的測量也沒有漂移的現象。MM3A體積相對傳統的顯微操縱儀而言小了很多,長度約60mm重約45g,這種設計系統的穩定性并了系統噪音水平,震動對MM3A不產生影響。采用磁性基座固定,MM3A可以方便地安裝在載物臺的地方。在操縱儀的前端有叉式的玻璃管夾持器,玻璃管的換簡單易操作。 參數: MM3A-EM Length / Width / Height 60/22/25 mm Operating range XY / Z 240°/12 mm Scan range X / Y / Z 20/15/1μm Max Speed XY / Z up to 10/ 2 mm/s Resolution X 10-7 rad (5 nm) Resolution Y 10-7 rad (3.5 nm) Resolution Z 0.25 nm Hysterisis deviation Z <200 nm Hysterisis Angle (α) Z <10° (0.2 rad) Lowest temp 273K Highest temp 353K Lowest pressure 10-7 mbar Holding force 1 N Holding torque 3 Nmm - 4 Nmm Lift Y 5g Signal resistance (probing) 7.0Ω Max voltage (probing) 100V Max current (probing) 100 mA 。Kleindiek顯微操縱儀主要特點: 德國Kleindiek Nanotechnik生產的Kleindiek顯微操縱儀的特點: 操縱:安裝在MM3A操縱臂前端的鎢探針在X,Y方向移動距離為5nm,在Z方向移動距離為0.5nm。 快慢可調的操作速度:可以選擇一個步進0.5nm,也可以選擇移動速度1cm/S。MM3A將大范圍和操作地結合在一起。 緊湊的結構設計:MM3A體積小,可以很寬松地在電鏡腔室內安裝1~8個系統。 三維大空間操作范圍:X、Y方向可以做240度的旋轉,Z軸方向做12mm的伸長,MM3A可操作的空間范圍達100cm3。 無漂移:Kleindiek顯微操縱儀曾經做過實驗MM3A鎢探針針尖在場發射電鏡放大100K條件下每隔一分鐘拍一張照片,持續一小時后通過對照片的分析得出,在電鏡電壓不穩定因素外,MM3A不產生漂移。 與電鏡的連接:MM3A安裝在加工好的平臺上,該平臺再固定在電鏡的樣品臺上,整個安放過程方便,幾分鐘就可完成,不使用時將平臺卸下取出既可。控制線通過電鏡腔室上的空法蘭穿出并密封,不會影響電鏡的真空。